프리커서(precursor)
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프리커서(Precursor) Part
- 1반도체 회로 위에 여러 화합물을
균일하게 증착시키는 화합물을 총칭,
증착시킬 금속원소에
유기 리간드가 붙어 있는 구조체
보통 DRAMD의 capacitor(데이터 저장소)
및 3D- NAND플래쉬 공정에서 사용되며,
ALD/CVD 공정에 박막 증착의 용도로 사용됨
이외에도 프리커서는
다양한 사업분야에서
활용되고 있으며
그 비중도 갈수록 커지고 있습니다.
(5G 사업 및 서버데이터 구축등등) - 2TEMAHf/ TEMAZr/ TDMAZr/ TDMATi
(Tterakis(ethymethylamino)zirconium, hafnium)
Cas.No: 175923-04-3 - 33DMAS
(Tris-Dimethyamino Silane)
Cas.No: 15112-89-7 - 4BDEAS
(Bis-Diethylamino Silane)
Cas.No: 27804-64-4 - 5DIPAS
(Di-isopropylamino Silane)
Cas.No: 908831-34-5 - 6BTBAS
(Bis(tertiarybutylamino Silane)
Cas.No: 18598-40-3 - 7TEOS
(Tetraethyl orthosilicate)
Cas.No: 78-10-4 - 8TMSP
(trimethylsilylphosphine)